1.采用超短脈沖的紫外皮秒激光器,具有加工效率高,熱影響區(qū)小,無需后續(xù)輔助處理等優(yōu)點,可以達到“冷”加工的工藝
2.采用大理石平臺Ⅹ/Y系統(tǒng)采用直線電機驅動系統(tǒng),確保平臺高速運行的精準度和穩(wěn)定性
3.配置高像素CCD自動對位功能,保證產(chǎn)品切割對位精確;
4.可配置超大幅面的遠心場鏡,確保加工大幅面產(chǎn)品時不要拼接。最大單加工幅面可達到200×200mm
5.配置高精度的振鏡確保產(chǎn)品加工精度和轉角工藝效果。重復精度可達1um